Ruostumattomasta teräksestä valmistetut jauhesuodatinpatruunat, joissa on VCR 1/2"-liitännät, ovat kriittisiä komponentteja puolijohteiden valmistuksessa, ja ne on suunniteltu erityisesti erittäin-puhtaisiin kaasunjakelujärjestelmiin. Näissä suodatinpatruunoissa käytetään edistynyttä metallijauhesintraustekniikkaa, jotta saavutetaan tarkka suodatus ja vangitaan tehokkaasti jopa 5 mikronin pienet hiukkaset. Tämä varmistaa prosessin erittäin herkkien kaasujen toimituksen. Puolijohteiden valmistusprosessit VCR 1/2" -liitäntä tarjoaa vuodon{10}}metallin-ja -metallitiivisteen, joka täyttää puolijohdeympäristöjen tiukat vaatimukset, joissa pienetkin kaasun epäpuhtaudet voivat aiheuttaa merkittäviä vikoja mikroelektroniikkalaitteissa. Niiden vankka rakenne korroosionkestävästä -ruostumattomasta teräksestä takaa kestävyyden ja{15}}pitkän aikavälin luotettavuuden äärimmäisissä olosuhteissa.

Puolijohdesovelluksissa näillä suodatinpatruunoilla on elintärkeä rooli suojattaessa alavirran laitteita, kuten massavirtauksen säätimiä ja tarkkuusventtiilejä hiukkaskontaminaation vaikutukselta. Integroitumalla saumattomasti olemassa oleviin erittäin{1}}puhtaisiin kaasulinjoihin ne yksinkertaistavat asennusta ja huoltoa ja minimoivat järjestelmän seisokit. Korkean suodatustehokkuuden, poikkeuksellisen kemikaalinkestävyyden ja luotettavan tiivistyksen yhdistelmä tekee niistä välttämättömiä tasaisen kaasun puhtauden ja toiminnan tehokkuuden varmistamiseksi kehittyneissä puolijohteiden tuotantolaitoksissa.

Tuotteiden tekniset tiedot

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Materiaali: 316L jauhetta
Koko: φ40 * 196,3 mm
Suodattimen tarkkuus: 5 mikronia
Liitäntä: VCR1/2"
Tekninen: Sintraus

Tuotteiden ominaisuudet

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Erittäin puhdas ja hiukkasretentio
- Sintrattu ruostumaton teräsrakenne (tyypillisesti 316 litraa) tarjoaa puhtaan, täysin metallisen suodatusaineen ilman sideaineita, liimoja tai orgaanisia jäämiä.
- Pystyy pitämään alle mikronin pienet hiukkaset 0,5 μm asti, mikä estää mikrokontaminaatiota pääsemästä prosessikammioihin tai kiekkoihin.
- Ei hiukkasten irtoamista, mikä varmistaa vakaan hiukkasmäärän pitkäaikaisessa käytössä.

2. Vankka mekaaninen ja lämpöstabiilisuus
- Täysmetallirakenne kestää korkeaa painetta, korkeaa lämpötilaa ja toistuvia lämpöjaksoja.
- Säilyttää mekaanisen eheyden tärinä-, vastavirta- tai painepulssiolosuhteissa-, jotka ovat yleisiä kaasunjakelujärjestelmissä.
- Yhteensopiva korkean lämpötilan kaasulinjojen lämmönseurannan kanssa.

3. Uudelleenpuhdistettava ja uusiutuva
- Suodatinelementit voidaan huuhdella takaisin, ultraäänellä tai paistaa tyhjiössä, mikä mahdollistaa pitkän käyttöiän verrattuna polymeeri- tai keraamisiin suodattimiin.
- Tyypillinen elinkaari ulottuu 5–10-kertaiseksi kertakäyttöisten PTFE- tai PVDF-suodattimien käyttöikään verrattuna, mikä minimoi seisokit ja kokonaiskulut.

4. Kemiallinen yhteensopivuus ja korroosionkestävyys
- 316L ruostumaton teräs säilyttää passiivisen oksidikalvon kloridi-, fluori-, ammoniakki- ja happamissa kaasuympäristöissä.
- Ei-reaktiivinen pinta estää metalli-ionien uuttamisen tai kaasun koostumuksen muuttumisen.

sovelluksia

1. UHP-kaasun jakelulinjat
- Asennettu kaasunjakelualustaan, kaasukaappiin ja VMB/VMP-paneeleihin suodattaen hiukkaset ennen kuin kaasu pääsee MFC:iin tai prosessityökaluihin.
- Käytetään N₂-, Ar-, H2-, He-, O2-, NH3-, CF4- ja muissa erittäin puhtaissa kaasulinjoissa, jotka syöttävät kriittisiä prosesseja.

2. Massavirtauksen säätimen (MFC) sisääntulon suojaus
- Estää hiukkaskontaminaation ja venttiilien kulumisen tarkkuusmassavirran säätimissä.
- Parantaa MFC:iden pitkän aikavälin virtauksen vakautta ja kalibroinnin yhdenmukaisuutta.

3. Prosessikammion ja työkalukaasun sisääntulot
- Varmistaa hiukkas- ja kosteusvapaan toimituksen CVD-, ALD-, etsaus- ja diffuusiouuneihin.
- Käytetään SiH₄-, WF₆-, BCl3-, PH3- ja TEOS-linjoissa, joissa puhtaus on kriittinen kalvon laadun ja saannon kannalta.

4. Erikoiskaasu- ja esiastejärjestelmät
- Metalli-orgaanisille tai halogeenipohjaisille kaasuille, joissa kemiallinen inertisyys ja lämpötilan stabiilisuus ovat tärkeitä.
- Asennetaan usein höyrystimien tai kuplimien perään tiivistyneiden hiukkasten tai pisaroiden keräämiseksi.

Ota yhteyttä

Puh: 0917-3873009

Puhelin: +86 18992731201

Sähköposti:zhangjixia@bjygti.com

Faksi: 0917-3873009

Osoite: No. 195, Gaoxin Avenue, High-tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Kiina

Whatsapp: +86 18992731201

Suositut Tagit: 5 mikronin ruostumattomasta teräksestä valmistetut jauhesuodatinpatruunat vcr 1/2" liitännöillä, Kiina, toimittajat, valmistajat, räätälöity, käyttö, hinnasto, myynnissä, varastossa, ilmainen näyte, huokoinen materiaali

Tuotteet

5 mikronin ruostumattomasta teräksestä valmistetut jauhesuodatinpatruunat videonauhurin 1/2" liitännöillä

Tuotteiden tekniset tiedot

Tuotteiden ominaisuudet

sovelluksia

Ota yhteyttä